#반도체 #웨이퍼검사 #머신비전 #CNN #딥러닝 #웨이퍼결함 #반도체검사 #AOI #자동검사 #WaferInspection #DeepLearning #ComputerVision #FasterRCNN #TransferLearning #스마트팩토리 #공정진단 #수율개선 #반도체공정1 반도체 웨이퍼 표면 결함을 CNN으로 분류하는 방법 반도체 웨이퍼 표면 결함을 CNN으로 분류하는 방법반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 나타나는 결함은 단순한 ‘불량 표시’가 아니라 공정 이상을 알려주는 중요한 신호입니다. 이번 글에서는 2020년 Applied Sciences에 발표된 Inspection and Classification of Semiconductor Wafer Surface Defects Using CNN Deep Learning Networks 논문을 바탕으로, CNN을 이용해 웨이퍼 결함을 어떻게 분류하고 공정 원인 추정까지 연결할 수 있는지 정리합니다.1. 왜 웨이퍼 결함 자동 분류가 필요한가반도체 공정은 박막, CMP, 포토리소그래피, 식각, 이온주입, 산화, 금속배선 등 여러 복잡한 공정으로 구성됩니다. 이 과정에서 로봇 핸.. 2026. 9. 11. 이전 1 다음